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更新时间:2023-07-21
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什么是inficon真空计?真空的含义是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态,是一种物理现象。在真空技术里,真空系针对大气而言,一般指特定空间内部之部份物质被排出,使其压力小于一个标准大气压,则我们通称此空间为真空或真空状态。真空常用帕斯卡(Pascal)托尔(Torr)毫巴(mbar)等做为压力的单位。真空计(VacuumGauge,也称真空表、真空规管,是测量真空度或低气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。
按照inficon真空计测量原理所利用的不同的物理机制,可将主要的真空计分为三大类,分别是利用力学性能、利用气体动力学效应利用带电粒子效应的真空计。利用力学性能的真空计典型的有波尔登规(Bourdon)和电容薄膜规;利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼(Pirani)电阻规和热电偶规、热传导规;利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。
压力测量中,除少数直接测量外,绝大多数是间接测量。就是先在被测气体中引起一定的物理现象,然后再测量这一过程中与压力有关的物理量,进而设法确定压力值。这是真空测量的特点,亦会造成某些问题。inficon真空计是测量低于一个大气压力的气体或蒸气压力的仪器。是从真空计本身测得的物理量直接计算出(或得出)压力的仪器。需经过绝对真空计的校准之后才能进行真空度的测量。任何具体物理现象与压力的关系,都是在某一压力范围内才显著,超出这个范围,关系变得弱了。因此,任何方法都有其一定的测量范围,这个范围就是真空计的“量程”。尽可能扩展每一种方法的量程,是真空科学研究的重要内容之一。