gbs

公司简介：

GBS mbH的一个产品线是基于白光干涉测量法的微纳米结构3-D表面计量，名称为“smartWLI”

主要产品：

3D 光学轮廓仪、光学3D 传感器

德国gbs 微观测量光学3D传感器产品型号：

smartWLI nanoscan

德国gbs 微观测量光学3D传感器产品介绍：

smartWLI nanoscan 配备了更高的管放大倍率、蓝色 LED 照明和 5 MP 摄像头。这使得传感器能够测量横向尺寸低至约 0.4 μm 的结构，空间采样低至 0.03 μm。各种支架、花岗岩门户、振动倾倒系统和自动倾斜装置可以配置定制的光学 3d 轮廓仪，使用 smartWLI nanoscan 作为高性能测量的关键组件。SDK 包括 C++ 和 C# 库以及用于示例应用程序的源代码，允许将传感器轻松集成到半导体和光学的测量站中。

德国gbs 微观测量光学3D传感器技术优势：

高速相机与大量并行数据处理相结合，可以加速数据采集和评估过程，并使系统坚固耐用，对振动的敏感度较低。这种加速功能可实现数个 100 次单次扫描的数据采集和拼接，典型循环时间为 1 个扫描周期。每次扫描 3 秒。数据处理包括对比度增强、基于模型的信号校正和数据质量监控，能够在高坡度区域拾取微弱信号。

德国gbs 微观测量光学3D传感器应用领域：

Ø 微晶 SiC 表面：多晶 SiC 表面具有特殊的电气、热和机械特性，广泛应用于电力电子、光电子、微电子、航空航天和植入物的晶圆表面测量光学传感器用途。透明、精细结构的表面需要对更大面积进行高分辨率测量和评估，以显著评估表面，评估它们对特定用途的适用性并优化制造工艺。测量需要带有压电陶瓷和 50 倍物镜的高分辨率传感器。

Ø 微型螺旋楼梯：内部使用光学全息组件的相应测试结构来优化 EPSI（扩展相移干涉测量）和 HD（高密度）- EPSI。它结合了高分辨率测量能力、亚纳米分辨率和 z 轴上非常大的测量范围。

主要产品：

3D 光学轮廓仪、光学3D 传感器

德国gbs 微观测量光学3D传感器产品型号：

smartWLI nanoscan

德国gbs 微观测量光学3D传感器应用领域：

Ø 微晶 SiC 表面：多晶 SiC 表面具有特殊的电气、热和机械特性，广泛应用于电力电子、光电子、微电子、航空航天和植入物的晶圆表面测量光学传感器用途。透明、精细结构的表面需要对更大面积进行高分辨率测量和评估，以显著评估表面，评估它们对特定用途的适用性并优化制造工艺。测量需要带有压电陶瓷和 50 倍物镜的高分辨率传感器。

Ø 微型螺旋楼梯：内部使用光学全息组件的相应测试结构来优化 EPSI（扩展相移干涉测量）和 HD（高密度）- EPSI。它结合了高分辨率测量能力、亚纳米分辨率和 z 轴上非常大的测量范围。