Quorum

一、英国Quorum公司介绍

Quorum Technologies制造优秀的科学仪器，用于电子显微镜（EM）样品制备。严格的EM样品制备是为客户提供清晰图像进行分析的方法。Quorum Technologies 提供全系列高质量仪器在冷冻 SEM、溅射镀膜机、临界点干燥仪和辉光放电等样品制备技术。

Quorum Technologies成立于2001年，但其产品品牌的历史可以追溯到更远的地方。最初的 Polaron Ltd 公司处于电子显微镜 （EM） 样品制备，推出了扫描电子显微镜 （SEM） 溅射镀膜，并在 1970 年代初推出了第一台 SEM 临界点干燥机。 如今，Quorum Technologies 延续了这一优良传统，仍然是电子显微镜溅射镀膜、临界点干燥仪和冷冻 SEM 等样品制备技术。

二、Quorum主要产品

1、 冷冻电镜样品制备系统（Cryo-SEM 样品制备）

PP3010冷冻电镜（Cryo-SEM）样品制备系统是冷冻扫描电镜技术，将高质量的结果与优秀的易用性相结合。PP3010 是一款高度自动化、柱式、气冷式冷冻 电镜样品制备和冷冻转移系统，适用于大多数品牌和型号的 W-SEM、FE-SEM 和FIB/SEM。

冷冻电镜 和 FIB/SEM 的冷冻样品制备技术对于观察生物样品、液体湿样品或光束敏感样本至关重要。使用冷冻电子显微镜消不需要采用化学法固定和临界点干等燥传统样品制备方法，能够观察天然水合状态的样本。

Quorum还提供PP3005 SEMCool和PP3006 CoolLok - 用于低温应用的部分低温样品制备系统，在这些应用中不需要PP3010的全套样品处理能力。

1-1. PP3010—冷冻电镜（Cryo-SEM）和束扫描电子显微镜FIB-SEM的样品制备系统

PP3010 是一款高度自动化、易于使用、柱式气体冷冻制备系统，适用于大多数品牌和型号的 SEM、FE-SEM 和FIB/SEM。。

PP3010具有快速冷冻、样品处理和转移所需的全部设施。低温样品制备室是采用涡轮分子泵，包含用于冷压裂、可控的自动升华和溅射镀膜的工具。样品处理后，将样品从冷冻制备室转移到高度稳定的SEM冷台上进行观察。用于冷冻制备室和 SEM 室中的冷阱确保整个样品制备过程无霜。

PP3010冷冻电镜样品制备系统的主要特点

w  SEM, FE-SEM and FIB/SEMs的高分辨率性能

w  气体冷却，包括冷冻制备室 - SEM 上无沸氮

w  高效冷却（min -190ºC）

w  一次填充 LN24 的运行时间24小时以- 允许无人值守的夜间运行（在典型工作温度下）

w  大驱动的触摸屏界面

w  自动升华、涂覆和系统启动

w  优秀的标本可视性

w  兼容高达 5kV 的 SEM 光束减速/级偏置模式

w  柱外冷却和泵送系统 – SEM 上的最小质量

w  屏幕数据记录和诊断

w  低温传输装置的抽水储存

w  Prepdek 工作站 – 独立的工作区，无需额外的工作台空间

w  冷冻工作流程选项

1-2. PP3006 coollock用于SEM 和FIB/SEM 的冷冻转移系统

PP3006 CoolLok 可对 SEM、FIB/SEM、光束线或其他真空系统的试样进行快速转移和低温温度观察。应用包括光束敏感试样的热保护和塑料、聚合物低介电介质和软硬混合物等材料的低温观察。该系统还可用于从手套箱中输送环境温度试样的惰性气体。

1-3  PP3005 SEMCool用于 SEM and FIB/SEM的非气闸冷却系统

SEMCool基于PP3006 CoolLok，但没有PP3004 QuickLok组件。它专为不需要将样品气闸交换到显微镜中的低温应用而设计。PP3005 仅推荐用于预计不频繁更换试样的应用。为了获得更大的试样通量，将气闸插入SEM 或 FIB/SEM 是必不可少的

1-4 Coolstage – Peltier冷却的SEM 工作台

冷却台是帕尔贴驱动的冷却台，用于扫描电子显微镜 （SEM）、低真空 （LV） 或变压 （VP） 应用。有三种型号可供选择，以满足不同的用户要求。

2. 溅射镀膜机和 SEM/TEM 碳镀膜机

2-1miniQS -入门级用于镀膜/涂布机

MiniQS非常适合预算不高的用户，他也需要在易于使用的仪器中获得可重复的结果。MiniQS使用磁控溅射头，带有易于更换的圆盘靶

2-2 Q plus 系列-全系列溅射镀膜机-用于电子显微镜和薄膜

Q Plus系列是Quorum的溅射和碳镀膜机系列的新版本。越来越多地用于高分辨率显微镜，其中超细涂层是必须的。

溅射镀膜是在扫描电子显微镜（SEM）观察之前制备非导电或导电性差的试样的标准方法。Quorum提供低成本的旋转泵送溅射镀膜机，用于沉积非氧化性金属（如金（Au）和铂（Pt））和涡轮分子泵送镀膜机，适用于氧化性和非氧化性金属，如铬（Cr）。

为了提供改进的超细涂层，Quorum推出了新的Q150V Plus，它提供1 x 10-6 mbar的极限真空，以获得效果。

大型腔室溅射镀膜机可用于直径达 200 mm 的试样。大多数Quorum 涂布机也可以使用易于更换的碳棒和碳纤维插件进行碳蒸发配置。

型号有Q 150R Plus, Q 150T Plus, Q 150V Plus, Q300T Plus, Q 300 TD Plus。

Q150V Plus 适用于高真空应用。这款新产品为用户提供了为超高分辨率应用（高于x 200k放大倍率）生产更细晶粒尺寸和更薄涂层的能力。

Q150T Plus 镀膜机适用于 SEM、TEM 和许多薄膜应用。它有三种形式：作为溅射镀膜机、碳镀膜机或在一个紧凑的系统中同时溅射和碳蒸发。

Q150R Plus 镀膜机适用于使用非氧化金属的 W-SEM 溅射应用以及用于 EDS 和 WDS 的碳涂层 SEM 试样。对于较大的试样，Q300T T Plus（涡轮分子泵送）型号允许涂覆max 8“/200 mm 的单个大直径试样（例如晶圆），或多个直径相似的较小试样。两者都具有三重溅射头，以确保均匀的镀膜沉积。对于薄膜应用，Q300T D Plus 双目标顺序溅射镀膜机允许连续溅射金属层，而无需打破真空。

Q150 GB 是 Q150T ES 涂布机的模块化版本，设计用于集成到手套箱中。

SC7620是该系列的完善，这是一款紧凑的入门级SEM溅射镀膜机，可与可选的碳纤维蒸发附件一起使用。

3. GloQube® Plus-用于透射电镜和表面改性的辉光放电系统

GloQube® Plus是一种经济高效，紧凑且易于使用的辉光放电系统，旨在满足TEM实验室的需求。GloQube® Plus的主要应用是修改TEM网格的表面，以满足成像各种大分子的要求。两个腔室集成在一个系统中，使用户能够灵活地选择他们想要使用的样品制备技术：空气中或化学蒸气中的辉光放电，无需停机清洁或样品污染和损失的风险。

化学蒸气辉光放电不仅有助于将分子保留在TEM网格上，而且还允许用户控制方向和构象。通过自动蒸汽控制，该系统可确保等离子体中化学蒸汽的准确浓度，从而产生可靠且可重复的结果。两个腔室设计成一个易于使用的包装，为工作流程空间提供了更小的占地面积，并且腔室之间没有交叉污染。

MiniQ GD 是2023年推出的易于使用的辉光放电系统，用于TEM 网格的表面修饰。

4. 临界点干燥仪

Quorum制造了一系列临界点干燥仪，以满足电子显微镜（EM）和其他应用的需求。临界点干燥是在扫描电子显微镜（SEM）检查之前对生物组织进行脱水的既定方法。

临界点干燥仪的型号：E3100 ， K850， K850WM 临界点干燥仪

广受欢迎的 K850 集多功能性和易操作性于一身。内置热电加热和绝热冷却可实现精确的温度控制。垂直压力室（直径 32 mm x 高 47 mm）具有侧面观察口，可在加工过程中清晰地看到液体弯月面。磁力搅拌器可确保工艺流体的最佳混合和交换。

E3100 大型临界点干燥机，E 3100 具有水平安装的压力室，内径为 63.5 mm x 长度为 82 mm。腔室有一个用于温度控制的外部水套，并通过可拆卸的后门引入试样。前腔装有直径为 25 mm 的大窗口，可以清楚地看到液位。

K850WM 是紧凑的台式仪器，设计用于对完整的 6“/150 mm 晶圆进行临界干燥。方便的晶圆支架可实现快速转移，并确保不会发生预干燥

E4800 循环加热器/冷却器用于各种开环和闭环温度控制应用。E4860 是 E3100 和K850MW 临界点干燥机的选件。对于仅需要加热的应用，建议使用 E3500 热循环器。

Qdru 是quorum 在2023年推出的新的自动化临界点干燥仪

5. 耗材，靶材，载物台等附件

Quorum提供了一系列消耗品和备件。

溅射靶材：Quorum为我们当前的Q系列（S和ES版本）和SC7620溅射镀膜机以及以前使用Emscope，Emitech，Polaron，Bio-Rad，Fisons Instruments和Thermo VG品牌制造的型号提供金属溅射靶材。包括E7400-314A Target

Gold 0.2 mm, E7400-31C TargetPlatinum 0.2 mm, E7400-314IR TargetIridium 0.3 mm, SC500-314A TargetGold 60 mm x 0.1 mm thick, SC500-314E TargetSilver 60 mm x 0.1 mm thick, SC502-314A TargetGold 57 mm x 0.1 mm, 更多溅射靶点请咨询。

碳耗材：碳棒和碳纤维供应品有多种尺寸和纯度可供选择，通常用于将碳蒸发到样品上，用于 X 射线微量分析或透射电子显微镜 （TEM）分析。

三、Quorum 产品客户

Quorum 客户包括显微镜制造商，大学研究所及公司等，其中显微镜制造商包括zeiss, thermo fisher, Hitachi, Tescan等。