公司简介:
Kleindiek Nanotechnik 公司是德国一家专注于微操纵研发和生产的企业,有过二十年的行业经历,生产的显微操纵系统在同领域处于领导。由主要产品Kleindiek显微操纵仪(俗称 Kleindiek机械手Kleindiek机械臂)衍生的多样性系统和平台产品与电镜相结合,为材料与别器件的研究提供多的手段和便利。 Kleindiek Nanotechnik生产的显微操纵仪MM3A-LS以其易操作、小体积成为膜片钳工作者的得力助手。MM3A的移动范围是三维空间的,X、Y轴可作±120°摆动,Z轴可作12mm的伸长,整个空间的移动范围达到100立方厘米。Kleindiek显微操纵仪系统驱动由压电陶瓷来实现,由此Z轴每个步进的精度可达0.25nm,当采用移动模式时,速度可达到2mm/s,大行程设计,使得Z轴总行程可达到12mm,移动精度、厘米的移动范围是MM3A的特点。
产品系列及特点:
功能到电子显微镜以允许在微米和尺度上的物理操纵和表征。 NanoWorkstation是一个系统,可执行此类任务,并可集成到大多数商用SEM和FIB中。
NanoWorkstation使得操控成为工业和研究实验室且经济实惠的解决方案,使您在关键尺寸现在处于范围内的世界中保持竞争力。
Kleindiek显微操纵仪基于模块的系统具有很高的通用性,换连接在机器人前端的工具,无论是移动,组装,准备,旋转,推动,探测,感受,倾听,Kleindiek显微操纵仪可以执行许多不同的应用 ,抓地力或你可以想象的任务。
Prober Shuttle是我们在7节点上实现原位电探针的工具 - ! 为了实现我们对这款产品的愿景,我们开发了一款具有稳定性平面三轴机械手--MM4。 Prober Shuttle可以由多达8个MM4组成,可以选择扁平的双轴或三轴分段。
系统的整个为10 mm,使其与SEM负载锁兼容,从而帮助您实现高的样品通量。 Prober Shuttle还提供低电流,低容量测量功能,并且兼容探测工具硬件和软件套件,包括Live Contact Tester和电子束感应电流成像模块。
德国Kleindiek显微操纵仪的驱动单元是由压电陶瓷构成的马达,因此它特点是能够进行移动,在移动的同时其设计可以同时做到毫米的移动范围,整个操纵装置马达驱动,从而系统体积小,可以很容易地放入电子显微镜腔室内。 德国Kleindiek Nanotechnik生产的显微操纵仪有以下型号以适用于不同的环境: MM3A-LMP Micromanipulator for Light Microscopy MM3A-EM Micromanipulator for Electron Microscopy MM3A-UHV Micromanipulator for UHV MM3A-LT Micromanipulator for low temperature 德国Kleindiek Nanotechnik生产的Kleindiek显微操纵仪MM3A-EM以其易操作、小体积成为电子显微镜用户的得力助手,改变了电子显微镜只用于样品观察的传统,直接在样品室内操纵样品,由此衍生了许多丰富多彩的应用,使得对样品的研究深一步。MM3A的移动范围是三维空间的,X、Y轴可作±120°摆动,Z轴可作12mm的伸长,整个空间的移动范围达到100立方厘米。系统驱动由压电陶瓷来实现,由此Z轴每个步进的精度可达0.5nm,当采用移动模式时,速度可达到2mm/s,可以说是同时兼具了,大行程设计,使得Z轴总行程可达到12mm,移动精度、厘米的移动范围是MM3A的特点。 MM3A-LS以其高稳定性、无漂移的鲜明特性,被应用于生命科学领域的高敏度膜电位测量领域。衍生产品MM3A-LMP与光学显微镜的结合,被应用于半导体的探针系统中,可适应45nm、65nm、90nm工艺的要求。 显微操纵仪的细微的漂移都会影响到细 胞膜电位的测量,这就要求显微操纵仪尽量能做到漂移,德国Kleindiek Nanotechnik公司生产的MM3A地解决了漂移的问题,既使是长时间的测量也没有漂移的现象。MM3A体积相对传统的显微操纵仪而言小了很多,长度约60mm重约45g,这种设计系统的稳定性并了系统噪音水平,震动对MM3A不产生影响。采用磁性基座固定,MM3A可以方便地安装在载物台的地方。在操纵仪的前端有叉式的玻璃管夹持器,玻璃管的换简单易操作。 参数: MM3A-EM Length / Width / Height 60/22/25 mm Operating range XY / Z 240°/12 mm Scan range X / Y / Z 20/15/1μm Max Speed XY / Z up to 10/ 2 mm/s Resolution X 10-7 rad (5 nm) Resolution Y 10-7 rad (3.5 nm) Resolution Z 0.25 nm Hysterisis deviation Z <200 nm Hysterisis Angle (α) Z <10° (0.2 rad) Lowest temp 273K Highest temp 353K Lowest pressure 10-7 mbar Holding force 1 N Holding torque 3 Nmm - 4 Nmm Lift Y 5g Signal resistance (probing) 7.0Ω Max voltage (probing) 100V Max current (probing) 100 mA 。Kleindiek显微操纵仪主要特点: 德国Kleindiek Nanotechnik生产的Kleindiek显微操纵仪的特点: 操纵:安装在MM3A操纵臂前端的钨探针在X,Y方向移动距离为5nm,在Z方向移动距离为0.5nm。 快慢可调的操作速度:可以选择一个步进0.5nm,也可以选择移动速度1cm/S。MM3A将大范围和操作地结合在一起。 紧凑的结构设计:MM3A体积小,可以很宽松地在电镜腔室内安装1~8个系统。 三维大空间操作范围:X、Y方向可以做240度的旋转,Z轴方向做12mm的伸长,MM3A可操作的空间范围达100cm3。 无漂移:Kleindiek显微操纵仪曾经做过实验MM3A钨探针针尖在场发射电镜放大100K条件下每隔一分钟拍一张照片,持续一小时后通过对照片的分析得出,在电镜电压不稳定因素外,MM3A不产生漂移。 与电镜的连接:MM3A安装在加工好的平台上,该平台再固定在电镜的样品台上,整个安放过程方便,几分钟就可完成,不使用时将平台卸下取出既可。控制线通过电镜腔室上的空法兰穿出并密封,不会影响电镜的真空。