inficon真空计在医疗设备和制药工业中的应用

　　德国Thyracont皮拉尼真空计已经定制了十年的标准，新是我们的主要驱动力，使我们引出了很多真空度量的新概念，内部研发部门已经为我们整个产品系列中的新和工艺授予了一系列。

　　我们热衷于产品的准确度精度存在于我们的公司有方面，包括产品、产线流程1970成立于德国质量和性是我们成功的原则。对于客户，供应商和员工Thyracont是一个长期的合作伙伴，将环保意识和强烈的社区意识相结合。

　　研究与开发

　　通过对内部研发的承.诺，我们一直在不断改进我们的真空测量产品。新局面，将“先

　　进的”新与实用技术相结合，确保我们的客户在可用性和成本效益方面受益。

　　应用案例：

　　采用现代微处理器技术的Thyracontsmartline真空传感器具有处理和功能方面的优势。

　　主要产品：德国Thyracont真空仪表产品Thyracont真空计Thyracont真空压力表

　　有Thyracont产品均在德国开发，制造和校准。先进的测试程序确保测量和控制仪器在长寿命和精确度方面满.足我们的高要求。

　　有金属密封传感器的氦气泄漏测试检查泄漏率不超过5x10-10毫巴升/秒

　　•1970成立,位于Passau,Germany

　　•48年真空仪表经验

　　•长期OEM，的真空技术供应商

　　•BaselII-Rating:A+

　　•全系列产品1600-5x10-10mbar

　　•仪表"MadeinGermany"

　　•24小时内回复

　　•应用工程师为你单独确立真空计解决方案

　　•交货快，大库存

　　数据

　　Thyracont真空仪表主要产品有：

　　1.手持真空表，

　　2.模拟输出真空表-输出信号给控制器

　　3.智.能数字真空表-输出信号给控制器，也可以和PLC，电脑，通信

　　4.控制器-连接多路模拟表

　　5.真空开关-这个简单，需设置好需要的真空范围，就可以自动输出信号，dao控制功能。

　　6.软件-在线通信，保存，记录，分析数据

　　7.连接器，线缆，传感器头，配件

　　2.2德国Thyracont真空仪表产品产品种类和原理：

　　电容膜片式：根据弹性薄膜在压差作用下产生形变而引起电容变化的原理制成的真空计。--弯曲的薄金属或陶瓷隔膜导致电容的变化.

　　2.压电式：我们的产品是陶瓷材料的应变片。受到气体压力作用时，应变片电阻变化，使用惠斯通电桥原理设计，来测量真空。3.Pirani皮拉尼：真空度不同，单位体积内的空气分子数就不同，对于正在发热的电阻丝带走热量的能力（散热能力）就不同，电阻丝温度就不同，因为电阻丝的电阻率是温度的函数，所以不同的真空度就引起了电阻率的不同，则电阻就不同，电流在电阻丝上的压降就不同，根据电压的变化就能换算出空气压强，测量真空度。做成惠斯通电桥，精度高。Thyracont加热保持灯丝在规定的温度，压力测量是基于气体的导热系数，不同气体导热系数不同。

　　4.冷阴ji：冷阴ji电离真空计是靠冷发射(场致发射)产生的少量初始自由电子，电子在电场的作用下向阳ji运动，但由于正交磁场（我们的产品里面是磁控管）的存在，也将施力于运动的电子，从而改变电子的运动轨迹。在电、磁场的共同作用下，电子沿螺旋形轨道迂回地飞向阳ji。电子dao阳ji的路程，使碰撞气体分子的机会增多。

　　电子碰撞气体分子时，有一部分为电离碰撞，电离后形成的正离子在阴ji上打出的二次电子，也受电场和磁场的共同作用而参与这种运动，使电离过程连锁的进行，在很短时间内雪崩式地产生大量的电子和离子，这样就形成了自持气体放电，此放电电流与压力有关系.

　　所以我们的产品是基于等离子体电导率的间接气体压力测量

　　5.热阴ji：和冷阴ji差不多，不过热阴ji电离真空计是由热阴ji发射电子，而冷阴ji电离真空计是靠冷发射所产生的少量初始自由电子。

　　由热阴ji规管和测量仪器组成：

　　热阴ji电离规管是一个三ji管，管内有阴ji、栅ji和收集ji。收集ji电位相对于阴ji电负电位；栅ji相对于阴ji电正电位。

　　测量仪器由规管工作电源、发射电流稳压器、离子流测量放大器等部分组成。

　　热阴ji电离规管与被测真空系统相通。当电离规管通电加热后，阴ji发射电子，在电子到达栅ji的过程中，与气体分子碰撞而产生正离子和电子的电离现象。当发射电流一..定时，正离子数目与被测气体压强成正比。正离子被收集ji收集后，经测量电路放大，得到测量的真空度。

　　Thyracont真空压力表各种原理的优缺点：

　　原理优点缺点

　　电容膜片分辨率和精度高

　　对化学物质相对不敏感零点漂移和压力滞后

　　经常需要调零

　　压力范围<1mbar的成本较高

　　压电式使用时间长，成本合理

　　因为是陶瓷应变片，所以对污染和化学物质相对不敏感，压力滞后

　　压力<1mbar，不好用

　　Pirani皮拉尼性.价.比高

　　测量范围宽，精度好(20mbar–1e-3mbar)依赖气体类型，不同气体，带走的温度不同，所以要做一个气体补偿。

　　超过20mbar精度降低

　　因为是细螺旋丝结构，所以对污染和化学品敏感

　　(我们的Thyracont产品有防护过滤等装置，有的可以用于有腐蚀性气体版本)

　　冷阴ji比热阴ji高

　　对油蒸气不敏感

　　依赖气体类型

　　压力>1e-4mbar时，自溅射产生磨损

　　惰性气体(氩，氦…)测量不稳定

　　读数误差为30%

　　漏磁场Magneticstrayfield

　　热阴ji测量范围zui大可到5x10-10mbar

　　高精度:10%读数

　　每个压力范围都很稳定基于气体类型

　　成本比冷阴ji高

　　对油蒸气和涂层敏感(e.g.SiO2)

　　热灯丝约1600°C

　　VD8系列产品特点

　　•电池或者电源供电以便于移动使用或者灵活安装

　　•屏幕显示测量数据

　　•记录器可记录2000组数据

　　•多功能并且操作简单

　　•操作模式:持续操作和自动关闭省电模式

　　•时钟测量模式使电池寿命增长

　　VacuumInstruments

　　VD8-便携式真空计压力mbar,Torr,hPa

　　•USB连接常方便与PC直接进行数据传送，但不跟PC连接也可以测量

　　•VacuGraphTM软件或者仪表实现组态和调整参数

　　•VacuGraphTM软件可在电脑上监测、分析、保存测量

　　VD81概括

　　•压阻真空计1600to1mbar

　　•高化学阻抗的FKM密封传感器

　　•真空连接方式：小法兰,G1/4内螺纹或软管喷嘴

　　•高重复性

　　•非常良好的长期稳定性

　　•电池时间达5000h

　　主要产品：德国Thyracont真空仪表产品Thyracont真空计Thyracont真空压力表

　　VD85概括

　　•皮拉尼/压阻组合真空计1200-5x10-⁴mbar

　　•温度补偿，皮拉尼传感器，耐用的螺旋丝

　　•皮拉尼/压阻组合真空计，量程宽

　　•真空接口DN16ISO-KF小法兰

　　•整个测量范围内具有精度和分辨率

　　•长期稳定性

　　•传感器坚固耐用(piezo/Pirani)

　　•只有在低于200mbar时，皮拉尼传感器才会工作

　　•确的气体响应因子

　　VD84概括

　　•拓展皮拉尼真空计100to1xe-3mbar

　　•温度补偿、皮拉尼传感器、耐用的螺旋丝

　　•外部可拆卸传感器、不锈钢小法兰DN16ISO-KF或1/8“NPT外螺

　　纹

　　•好的重现性

　　•传感器通过金属屏蔽防止冷凝溶剂

　　•确的气体响应因子

　　•皮拉尼真空计100-5×e-4mbar

　　•温度补偿，金属密封皮拉尼传感器，耐用的

　　螺旋丝

　　•真空连接方式：小法兰DN16ISO-KF

　　•高.精.度

　　•传感器对浓缩溶剂有很好的防护能力

　　•因为时钟测量所以电池有很长的寿命

　　•精.确的气体校正因子

　　VD83-便携式皮拉尼真空计

　　压力100-5×e-4mbar

　　Thyracont真空压力表选型注意事项：

　　根据客户的提出的要求或者我们询问客户下面内容：

　　1只是需要单机计量，还是需要模拟输出，或者数字输出PC，PLC控制？

　　2.工艺情况：测量点(工艺室、前级真空管线等)在哪里，所需压力范围(及精度)是多少，测量的介质、气体是什么类型的，里面可能会有油，蒸汽等污染物吗？温度、辐射、磁场等情况如何？

　　3.电缆长度是多少，型号类型:0-10V,4-20mA,RS485,EtherCAT,Profinet？压力是可视还是只是输出？设置点等等？

　　我们的产品优势：

　　1.有无线系列：连接多达16个数字传感器无线通信(RS485)，无线连接达100米，电脑监控。

　　2.能做真空泄漏检查：根据曲线分析，得到泄漏率。检查机械连接是否紧密。

　　3.VCP63冻干领域成功应用：经受多次蒸汽压力灭菌。

　　4.VSM(Pirani/Magnetron磁控管)：冷阴ji点火时间非常.快，或者说场致发射很快：

　　6.DPH400的皮拉尼和热阴ji组合传感器的过渡区非.常的平滑平稳，没有尖.峰。

　　竞争对手的过渡期输出锯齿形。

　　1.产品应用：

　　应用宽：只要需要测真空的地方就可以。

　　1.过程和检测工业：真空包装，真空绝缘，真空干燥，冷冻干燥，阴ji真空喷镀系统，电子束焊接，真空炉，等离子清洗，蒸发和涂层系统，镀膜设备，•抽真空和灌注.灯泡生产

　　工业真空设备的安装和检测：真空离心机，真空干燥，真空炉，真空蒸发器，真空泵

　　2.分析仪器和表面物理：电子显微镜，气体分析系统，质谱分析系统，ESCA,SIMS,AES,XPS.

　　3.研究：MBE系统，粒子加速器，导波系统，粒子回旋加速器，融合实验，空间仿..真室

　　4.半导体工艺：CVD,等离子刻蚀，转移室

　　5.系统控制/压力控制：从低到..超高真空范围的压力测量和控制，阀控制，基于压力的控制系统。

　　真空设备的运行控制：对真空电器的控制，对真空泵和真空设备的控制，安全切换，泵的附加开关

　　真空泵检测和运行控制，检漏，质量保障，服务和维护

　　主要产品：德国Thyracont真空仪表产品Thyracont真空计Thyracont真空压力表

　　几个详细的例子：

　　1.真空包装–定期检测包装机械的真空度是否dao

　　真空包装可以增加食物的保存时间。包装过程先抽真空然后密封。

　　包装机器运转正常需要定期检测。只有当包装中的真空度足..够时，食物的质量、新鲜度、营养成分、和口感才可以得到保存。

　　定期将VD81替代食物进行真空密封。然后VD81会自动存储其获得的小压力值，当它被拿出包装设备后，可以显示该小压力，以便查看包装机械的真空度。

　　2.干膜蒸发/短程蒸馏

　　高真空蒸馏分离热敏性液体，热敏合剂通过短通道蒸馏系统慢慢分离，在高真空环境下蒸馏可以在相对较低的温度中进行。紧凑型真空计VD64P用于压力管理，输出两个开关，控制一个真空阀和一个通风阀。

　　3.真空绝缘

　　液化气储罐比如液氮，LNG等等，罐的真空绝缘可以保护液化气免受环境温度的影响。液化气储罐内胆和外罐之间的真空有..效隔绝了储罐和外部环境之间的热传导。

　　如果真空密封不好，会泄漏，气体升温，压力上升很危险。需要定期检测绝缘层中的真空状态。

　　可拆卸传感器探头VD84真空计检测气罐中绝缘真空。每个气罐都配一个传感器，它固定在绝缘封装中。变送器可以定期地与传感器连接，检测内部真空状态。（检测时候安装变送器，不检测，拔掉变送器。）

　　2.真空炉

　　如钢的硬化，炼制高质量钢材，真空氧脱碳，降低钢的含碳量。

　　熔化的钢水上的压力会降到100-150mbar，同时氧气会注入。这样溶解碳转变为一氧..化碳排出。

　　铸造时需要精确地控制真空度。由于存在大量灰尘和有问题的物质，需要一个坚固耐用的真空规来降低维修护本。可以使用VCC200，电容氧化铝陶瓷感应器坚固耐用，不会受污染环境影响，测量结果不受气体种类影响。生产过程中排放的气体不会影响压力读数，保证结果准确性。

　　5.涂层

　　表面涂层可改变外观、物理特性或耐久性。

　　氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它需要镀膜，涂层。

　　镀膜系统腔体中的真空维持在10-2到1mbar。抽真空过程中需要精确测量真空压力，晶片在尽可能短时间被送入工艺腔体，启动镀膜过程。

　　操作时间很短，所以对压力读数的快速反应要求很重要。

　　VSR型号集成了压阻/皮拉尼复合传感器，压力范围从常压到真空，（1200mbar到1x10-4mbar）。打开腔时的压力以及放气到大气压力的精准时间都可以精确测量。

　　另外还有塑料元件：金属镀膜，更美观，也能屏蔽敏感元件免受干扰。

　　金属镀膜工艺通常在2x10-4mbar下进行，需要连续监控真空状态。

　　6.真空泵维护

　　能测量纪录真空泵从大气到真空的整个抽真空过程。

　　7.半导体技术

　　如电子芯片的制造封装等，需要在真空环境中完成。